高精度研磨機(jī)的自動(dòng)檢測系統(tǒng) 

雙面研磨機(jī)作為一種先進(jìn)精密加工設(shè)備，已經(jīng)越來越受到經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)國家的重視；如何高效地獲得光學(xué)材料表面良好的粗糙度、平面度和屈曲度已成為超精密研磨加工技術(shù)的重要研究方向。

壓力氣動(dòng)加載精度、上下盤運(yùn)行的穩(wěn)定性和高精度的測量裝置的精度是影響研磨設(shè)備性能的主要因素。

本文針對(duì)雙面研磨控制系統(tǒng)，運(yùn)用先進(jìn)的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)技術(shù)，先進(jìn)的監(jiān)測技術(shù)，氣壓控制技術(shù)，過程控制技術(shù)和人性化的HMI人機(jī)界面，使不熟練的操作人員，亦能達(dá)到高精度加工水平。

拋棄很多廠家使用的PLC主控制器，使用工控機(jī)作為主控制器，增強(qiáng)設(shè)備的擴(kuò)展性及盡可能的降低成本。

使用計(jì)算機(jī)軟件對(duì)雙面研磨加工過程進(jìn)行數(shù)據(jù)參數(shù)設(shè)定、生產(chǎn)流程管理并進(jìn)行進(jìn)行監(jiān)測與控制，可以方便工廠后期的組網(wǎng)和設(shè)備管理，設(shè)備維護(hù)，實(shí)現(xiàn)工廠設(shè)備的全監(jiān)控。

使用VB.NET軟件平臺(tái)和MS-SQL數(shù)據(jù)庫，實(shí)現(xiàn)圖形化界面功能指標(biāo)，高精度的位移傳感器，高精度氣壓壓力傳感器，高精度數(shù)字比例閥組成聯(lián)合控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)該機(jī)的自動(dòng)加工及控制。

 高精度雙面研磨機(jī)的自動(dòng)檢測系統(tǒng)主要內(nèi)容如下 

1、工控機(jī)軟件控制系統(tǒng)研究；

2、定尺寸磨削及定時(shí)間磨削控制方式研究。使用高精度的高度計(jì)(分辨率0.52μm,精度2μm)來實(shí)時(shí)監(jiān)測研磨工件的尺寸，從而保證工件的尺寸精度；

3、行星運(yùn)動(dòng)控制研究及算法。使研磨過程中工件運(yùn)動(dòng)軌跡的可變，工件放在游輪內(nèi),游輪成為太陽輪和內(nèi)齒圈所構(gòu)成差動(dòng)輪系中的行星齒輪；

4、氣動(dòng)加壓控制研究。在下氣缸加裝高精度氣壓壓力傳感器時(shí)時(shí)檢測下氣缸壓力,并將壓力信號(hào)反饋給軟件控制系統(tǒng)構(gòu)成壓力的閉環(huán)控制，來保證能夠精確地控工件的壓力，并保持壓力的穩(wěn)定性；

此外還對(duì)機(jī)床的砂漿液控制，排液控制，修整控制等自動(dòng)控制系統(tǒng)；經(jīng)過設(shè)備試運(yùn)行，證明該設(shè)備控制系統(tǒng)的整體狀況良好，運(yùn)行穩(wěn)定,各部分子系統(tǒng)工作正常，通過實(shí)驗(yàn)和用戶的長期使用，對(duì)雙面研磨機(jī)加工藍(lán)寶石材料的加工質(zhì)量、加工效率、加工精度和加工成本進(jìn)行檢驗(yàn)。

高精度數(shù)控雙面研磨機(jī)是電子器件基片（藍(lán)寶石襯底、多晶硅單晶硅片、先進(jìn)陶瓷基片）和智能數(shù)碼產(chǎn)品液晶玻璃片的精密數(shù)控加工裝備，市場需求量很大。目前國內(nèi)雙面研磨機(jī)存在速度調(diào)節(jié)困難、工藝適應(yīng)范圍窄等缺陷，很難滿足光學(xué)玻璃、LED藍(lán)寶石基片等高端產(chǎn)品的加工要求，這些高端產(chǎn)品的加工裝備主要依賴進(jìn)口。

本文主要以高精度雙面研磨機(jī)的自動(dòng)檢測系統(tǒng)為例說明介紹的。