半導(dǎo)體硅片研磨拋光機(jī)能滿足技術(shù)條件嗎
半導(dǎo)體硅片這類工件通常是很薄,而且較為脆的工件,在通過立式精密研磨機(jī)研磨或拋光時(shí),如果不是很注意的話,會(huì)出現(xiàn)裂紋現(xiàn)象,所以說,技術(shù)不完善的企業(yè),做不到精度標(biāo)準(zhǔn),也難達(dá)到成品率。
半導(dǎo)體硅片的研磨方法,硅片半導(dǎo)體拋光機(jī)采用雙面研磨工藝對(duì)切割好的硅片進(jìn)行研磨,通過改善研磨工藝(磨盤材質(zhì)、研磨液、研磨壓力及研磨轉(zhuǎn)速等)來提高研磨片的質(zhì)量。
研磨與拋光有哪些不同之處
1、立式研磨機(jī)床利用涂敷或壓嵌在研具上的磨料顆粒,通過研具與工件在一定壓力下的相對(duì)運(yùn)動(dòng)對(duì)加工表面進(jìn)行的精整加工。
研磨可用于加工各種金屬和非金屬材料,加工的表面形狀有平面,內(nèi)、外圓柱面和圓錐面,凸、凹球面,螺紋,齒面及其他型面。
2、精密拋光機(jī)床是利用機(jī)械、化學(xué)或電化學(xué)的作用,使工件表面粗糙度降低,以獲得光亮、平整表面的加工方法。