高精度研磨機(jī)的自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)雙面研磨機(jī)作為一種先進(jìn)精密加工設(shè)備,已經(jīng)越來(lái)越受到經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)國(guó)家的重視;如何高效地獲得光學(xué)材料表面良好的粗糙度、平面度和屈曲度已成為超精密研磨加工技術(shù)的重要研究方向。壓力氣動(dòng)加載精度、上下盤運(yùn)行的穩(wěn)定性和高精度的測(cè)量裝置的精度是影響研磨設(shè)備性能的主要因素。本文針對(duì)雙面研磨控制系統(tǒng),運(yùn)用先進(jìn)的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)技術(shù),先進(jìn)的監(jiān)測(cè)技術(shù),氣壓控制技術(shù),過(guò)程控制技術(shù)和人性化的HMI人機(jī)界面,使不熟練的操作人員,亦能達(dá)到高精度加工水平。拋棄很多廠家使用的PLC主控制器,使用工控機(jī)作為主控制器,